Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии • Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия"
My-shop.ru
г. Москва
504 руб.
Изложены основы расчёта и проектирования теплообменных аппаратов и систем охлаждения газовых турбин как элементов газотурбинного комплекса, все агрегаты которого влияют друг на друга, а их параметры взаимосвязаны. Содержание учебника соответствует курсам лекций, читаемых авторами в МГТУ им. Н. Э. Баумана • Для студентов высших учебных заведений энергомашиностроительных специальностей. Может быть полезен аспирантам, инженерам и научным работникам
My-shop.ru
г. Москва
1 511 руб.
Изложены основы построения и анализа математических моделей механических систем, идейное ядро которых составляют математические модели стержней, пластинок и оболочек, что позволяет строить адекватные математические модели в виде совокупности соотношений, достаточно полно и точно отражающих свойства и поведение сложных конструкционных элементов современного технологического оборудования и машиностроения. Содержание учебного пособия соответствует курсам лекций, читаемых в МГТУ им. Н.Э. Баумана • Для студентов старших курсов, изучающих такие дисциплины, как "Механика деформируемого твердого тела", "Теория упругости и пластичности", "Динамика и прочность машин", "Сопротивление материалов", "Теория оболочек", "Строительная механика конструкций", и аспирантов математических, физических, естественнонаучных кафедр университетов и технических вузов
My-shop.ru
г. Москва
504 руб.