Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства • Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»
My-shop.ru
г. Москва
861 руб.